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苏州桔云科技JN江南官网取得一种FFU空气过滤器及晶圆加工设备专利使FFU空气过滤器能够实现均匀送风且兼具风扇异常反馈功能

作者:小编    发布时间:2024-12-20 13:16:18    浏览量:

  金融界2024年12月19日消息,国家知识产权局信息显示,苏州桔云科技有限公司取得一项名为“一种FFU空气过滤器及晶圆加工设备”的专利,授权公告号CN 222165018 U,申请日期为2024年3月。

  专利摘要显示,本实用新型公开了一种FFU空气过滤器及晶圆加工设备,涉及晶圆加工装置技术领域,FFU空气过滤器包括机壳,机壳内设有空腔,机壳的上表面开设有连通空腔的进风口,机壳的下表面开设有连通空腔的出风口,JN江南app机壳下表面安装有高效过滤网,高效过滤网覆盖出风口,且与出风口密封连接,空腔内固定安装有与进风口对接的风扇以及用于检测风扇通电状况的电流感应开关,风扇与进风口之间密封连接,使FFU空气过滤器能够实现均匀送风,且兼具风扇异常反馈功能。

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